真空泵是用以產(chǎn)生、改善和維持真空的裝置。
現(xiàn)代真空技術(shù)能獲得的氣體壓強(qiáng)為大氣壓至10-11Pa的真空。這是一個非常大的真空范圍，而且各個真空應(yīng)用部門所涉及的工作壓強(qiáng)的范圍不盡相同，因此任何一種類型的真空泵都不可能完全適用，現(xiàn)今只能根據(jù)不同的工作壓強(qiáng)范圍和不同的工作要求，使用不同類型的真空泵來創(chuàng)造需要的真空環(huán)境。為了使用方便以及經(jīng)濟(jì)性的要求，有時將各種真空泵按其性能要求結(jié)合起來，以真空機(jī)組形式出現(xiàn)。
按工作原理，真空泵基本上分為氣體傳輸泵及氣體捕集泵兩種類：
常用的氣體傳輸泵有：
往復(fù)真空泵、無油渦旋真空泵、旋片真空泵、定片真空泵、滑閥真空泵、液（水）環(huán)真空泵、羅茨真空泵、分子泵、噴射泵、擴(kuò)散泵、油增壓泵等。
常用的氣體捕集泵有：
吸附泵、離子泵、低溫泵、吸氣劑泵等。
